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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND FORMING METHOD OF COPPER OR COPPER ALLOY PATTERN
摘要
申请公布号
JPH11191556(A)
申请公布日期
1999.07.13
申请号
JP19970360283
申请日期
1997.12.26
申请人
SONY CORP
发明人
MAEDA KEIICHI
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L23/538;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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