FORMING METHOD OF TUNGSTEN FILM,申请号JP19980177118-传众专利搜索

发明名称	FORMING METHOD OF TUNGSTEN FILM
摘要
申请公布号	JPH11191538(A)	申请公布日期	1999.07.13
申请号	JP19980177118	申请日期	1998.06.24
申请人	SANYO ELECTRIC CO LTD	发明人	NOMA TAKASHI
分类号	C23C16/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285	主分类号	C23C16/14
代理机构		代理人
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