发明名称 CLEANING METHOD OF ARTICLE CONSISTING OF POTASSIUM FLUORIDE
摘要
申请公布号 JPH11188592(A) 申请公布日期 1999.07.13
申请号 JP19970361126 申请日期 1997.12.26
申请人 CANON INC 发明人 HIROO RIYUUJI;ANDO KENJI;OTANI MINORU;SUZUKI YASUYUKI;KANAZAWA HIDEHIRO
分类号 B08B7/00;B24B13/005;C01F11/22;(IPC1-7):B24B13/005 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
地址