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发明名称
VAPOR DEPOSITING MATERIAL
摘要
申请公布号
JPH11189864(A)
申请公布日期
1999.07.13
申请号
JP19970358065
申请日期
1997.12.25
申请人
TOSOH CORP
发明人
OKAMURA TOSHIHIKO;KUBOTA YOSHITAKA
分类号
C23C14/06;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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