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发明名称
摘要
申请公布号 JP2919379(B2) 申请公布日期 1999.07.12
申请号 JP19960228922 申请日期 1996.08.29
申请人 KYUSHU NIPPON DENKI KK 发明人 SONODA YASUHIRO
分类号 H01L27/04;H01L21/329;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/8605;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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