| 发明名称 |
VAPORIZATION VESSEL FOR LIQUID STOCK FOR VAPOR GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11189491(A) |
申请公布日期 |
1999.07.13 |
| 申请号 |
JP19970366463 |
申请日期 |
1997.12.24 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
OSAKI HIROMI;OSHIMA MITSUYOSHI |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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