| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL BY FZ METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11189486(A) |
申请公布日期 |
1999.07.13 |
| 申请号 |
JP19970367044 |
申请日期 |
1997.12.25 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
NIGORIKAWA MASAHIKO;HIRAHARA KAZUYUKI;NAKAZAWA KEIICHI |
| 分类号 |
C30B13/28;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/28 |
主分类号 |
C30B13/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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