| 主权项 |
1.一种雷射直接成像系统,其包括: 一产生光束之多波长雷射; 一主动光束稳定系统; 一分开此光束成为次光束之装置; 一远心降低该次光束直径之反射器; 一多波道调变装置; 一分束器,其用于分开与重组不同UV光谱线之一次 光束来产生一时序信号; 一使该次光束平行之反折射光学元件; 一旋转该次光束之反射器; 一远心扫瞄透镜; 一无聚焦中继器;及 一取出中继器系统之山形校正光学元件之未调变 光时序信号之装置。2.如申请专利范围第1项系统, 其中该分束器包括多分束器组态,使得使用相同之 部件之子集可产生2.4和8个光束,每一子光束由2N90 度多反射而来,其中N为任意数。3.如申请专利范围 第1项系统,其中该时序讯号系由在该调变装置前 之分束器前表面反射350-364nm光而产生,让380nm与以 上之光通过,接着阻断所有光束但只让一传送光束 通过,而后使用相同之第二分束器在该调变装置后 同轴地结合所变成之时序光束与写入光束。4.如 申请专利范围第1项系统,其中折射光元件被包含 为校正元件。5.一种反射光学中继器被用来从一 微影扫瞄透镜重塑一条状影像场域,此微影扫瞄透 镜维持以下参数之正确性: 有限的绕射(Strehl比>75%); 维持一远心、平场域影像平面;及 在一多光束系统所需之公差内将差异失真减至最 低。6.一种光学中继器从一物件到一影像侧,依序 包括: 一场平坦器; 一从场域平坦器开始之光学路径上之第一凹面镜; 一从第一凹面镜开始之光学路径上之凸面镜;以及 一从此凸面镜开始之光学路径上之第二凹面镜。7 .如申请专利范围第6项之光学中继器,其中: 第一和第二凹面镜有一凹圆球表面;以及 该第一凹球面镜有一与该第二凹球面镜相同之半 径。8.如申请专利范围第7项之光学中继器,其中该 凸面镜有一球面之曲率半径约为该第一凹球面镜 曲率半径之一半。9.如申请专利范围第8项之光学 中继器,其中该光学中继器之放大倍率约为一。10. 如申请专利范围第6项之光学中继器,其中: 每一第一、二凹面镜有一非球表面;以及 该光学中继器更包括一在从第二凹面镜开始之光 学路径上之透镜,该透镜校正在该光学中继器其它 地方所产生之失真与偏差。11.如申请专利范围第 10项之光学中继器,其中: 该第一凹面镜之非球表面有一抛物线横切面;以及 该第二凹面镜之非球表面有一椭圆横切面。12.如 申请专利范围第11项之光学中继器,其中该光学中 继器之放大倍率小于一。13.一种雷射扫瞄器包括: 一空间调变雷射光束源; 形成空间地调变雷射光束之一影像的扫瞄光学元 件,其中该影像有一沿第一线移动之位置;以及 一光学中继器,从一物件侧到一影像侧依序包括: 一用来接收位从第一线之影像而来之光之场平坦 器; 一在从该场平坦器开始之光学路径上之第一凹面 镜; 一在从第一凹面镜开始之光学路径上之凸面镜;以 及 一在从该凸面镜开始之光学路径上之第二凹面镜, 其中该第二凹面镜形成一沿第二线移动之位置之 影像。14.如申请专利范围第13项之雷射扫瞄器,其 中: 每一第一和第二凹面镜有一凹球面;及 该第一凹球面镜有一与第二凹球面镜相同之曲率 半径。15.如申请专利范围第14项之雷射扫瞄器,其 中该凸面镜有一约为该第一凹球面镜一半之弯曲 半径。16.如申请专利范围第15项之雷射扫瞄器,其 中该光学中继器之放大倍率约为1。17.如申请专利 范围第13项之雷射扫瞄器,其中: 每一第一和第二凹面镜有一非球表面;以及 该光学中继器更包括一从该第二凹面镜反射光之 光学路径上之一透镜,该透镜校正在该光学中继器 其它地方所产生之失真与偏差。18.如申请专利范 围第17项之雷射扫瞄器,其中:该第一凹面镜之非球 表面有一抛物线横切面;及 该第二凹面镜之非球表面有一椭圆横切面。19.如 申请专利范围第18项之雷射扫瞄器,其中该光学中 继器之放大倍率小于1。20.一种雷射扫瞄器包括: 一空间调变雷射光束源; 形成空间调变雷射光束之一第一影像之扫瞄光学 元件,其中该第一影像有一沿第一线移动之位置; 一光束位置侦测器; 一光学中继器,其从该第一影像形成一沿第二线移 动之位置之第二影像;以及 一在该光学中继器之光学路径上之分束器,其中分 束器从光学中继器分出一部分光给该光束位置侦 测器。21.如申请专利范围第20项之扫瞄器,其更包 括在该光学中继器之光学路径上之山形校正光学 元件。22.如申请专利范图第20项之扫瞄器,其中该 光学中继器之放大倍率约为1。23.申请专利范围第 20项之扫瞄器,其中该光学中继器之放大倍率小于1 。图式简单说明: 第一图系根据此发明之实施例之雷射扫瞄器方块 图。 第二图A、B、C和D显示可使用于第一图之四个分离 的多波道分束器。 第三图A显示第一图之扫描器的多波道调变器光学 元件。 第三图B显示在本发明之实施例中一使用镜面组合 来取代道威三棱镜。 第四图A和B各显示根据本发明之实施例之一1:1光 学中继器之光线路径侧视和立体图。 第五图显示此发明之实施例,其中第四图A之中继 器与完整扫瞄系统结合而在扫瞄光学元件与最后 影像间提供额外之工作距离。 第六图显示导引一末调变光束到包含时序光栅之 平均焦距影像平面之光学元件详图。 第七图和第八图显示可用于第一图之扫描器之两 个中继器实施例。 |
