发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11186537(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970351633 申请日期 1997.12.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAHASHI TAKESHI;OKAMOTO NAOYA
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/78;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/43 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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