发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND DESIGN METHOD
摘要
申请公布号 JPH11186502(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970354603 申请日期 1997.12.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KANEMOTO TOSHIKI;AJIOKA YOSHIHIDE;SHIMAZU YUKIHIKO;HAMADA HIDEYUKI
分类号 H01L21/822;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/118;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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