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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11186508(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970353811 申请日期 1997.12.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HASEGAWA KOICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/02;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/824 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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