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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH11186227(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970347566 申请日期 1997.12.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAZUMI HIDEYUKI;ARAI MASATSUGU
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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