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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11185693(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970354352 申请日期 1997.12.24
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 ISHIMARU MASANORI
分类号 C23C14/32;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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