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发明名称 GATE VALVE FOR VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH11185685(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970350540 申请日期 1997.12.19
申请人 JEOL LTD 发明人 KAMATA NORIYUKI
分类号 G21K5/04;H01J37/18;H01J37/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
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