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发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11186388(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970353524 申请日期 1997.12.22
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MIYAGAWA YASUHARU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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