发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11186499(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970348266 申请日期 1997.12.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;MITSUBISHI ELECTRIC ENGINEERING CO LTD 发明人 TSUNETOMO TSUTOMU;NODA HIROSHI;FUJIWARA YASUSHI
分类号 G01R31/316;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G01R31/316
代理机构 代理人
主权项
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