发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH11186402(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970353073 申请日期 1997.12.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FUJII TAIZO
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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