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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11186383(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970353028 申请日期 1997.12.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OBARA TAKASHI
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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