| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11186546(A) |
申请公布日期 |
1999.07.09 |
| 申请号 |
JP19970353498 |
申请日期 |
1997.12.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
IINUMA TOSHIHIKO;MIZUSHIMA ICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
