发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11183285(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970349539 申请日期 1997.12.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 YASUIKE NORIYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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