| 发明名称 |
FORMATION OF TAPERED CONTACT HOLE, FORMATION OF TAPERED POLYSILICON PLUG AND TAEPRED POLYSILICON PLUG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11186225(A) |
申请公布日期 |
1999.07.09 |
| 申请号 |
JP19970344815 |
申请日期 |
1997.12.15 |
| 申请人 |
SHIJIE XIANJIN JITI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
GO KOKUSHO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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