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发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH11186552(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970347452 申请日期 1997.12.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIBUYA MUNEHIRO;TSUTSU HIROSHI;YOSHIDA TETSUHISA;KITAGAWA MASATOSHI
分类号 H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
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