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发明名称 WAFER BURN-IN DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11186349(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970354444 申请日期 1997.12.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MAI MIKIYA;NAKAYAMA TOMOYUKI;FURUMOTO KENJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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