发明名称 PATTERN OF INNER LEADS TIP PART PREVENTED FROM TAPERING
摘要
申请公布号 JPH11186343(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970350696 申请日期 1997.12.19
申请人 MITSUI MINING & SMELTING CO LTD 发明人 FUJII NOBUROU
分类号 C23F1/00;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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