发明名称 SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11186346(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970351421 申请日期 1997.12.19
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 OTA TADAKATSU;NAGAMORI SHINICHI
分类号 H01L21/60;H05K3/00;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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