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发明名称 HAISENSONOKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JPS5128669(A) 申请公布日期 1976.03.11
申请号 JP19740100909 申请日期 1974.09.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 ENOMOTO MINORU
分类号 H05K3/46;H01L21/306;H01L21/314;H01L21/3205;H01L49/02 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
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