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发明名称 Einstufen-Ausrichtung Lithographie-Verfahren zur Erzielung selbst ausgerichtete Merkmale
摘要
申请公布号 DE69227935(T2) 申请公布日期 1999.07.08
申请号 DE19926027935T 申请日期 1992.02.21
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 PIERRAT, CHRISTOPHE, WATCHUNG, NEW JERSEY 07060, US
分类号 G03F1/00;G03F7/20;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F1/14;G03F7/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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