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发明名称
Verfahren zum Herstellen von SiC-Einkristallen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号
DE4310745(C2)
申请公布日期
1999.07.08
申请号
DE19934310745
申请日期
1993.04.01
申请人
SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE
发明人
STEIN, RENE, DIPL.-MIN. DR., 8551 ROETTENBACH, DE;RUPP, ROLAND, DIPL.-ING. DR., 8505 ROETHENBACH, DE
分类号
C30B23/00;C30B23/06
主分类号
C30B23/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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