发明名称 Verfahren zum Herstellen von SiC-Einkristallen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE4310745(C2) 申请公布日期 1999.07.08
申请号 DE19934310745 申请日期 1993.04.01
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 STEIN, RENE, DIPL.-MIN. DR., 8551 ROETTENBACH, DE;RUPP, ROLAND, DIPL.-ING. DR., 8505 ROETHENBACH, DE
分类号 C30B23/00;C30B23/06 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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