PROCESS FOR PRODUCING A POROUS LAYER BY AN ELECTROCHEMICAL ETCHING PROCESS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer porösen Schicht mit Hilfe eines elektrochemischen Ätzprozesses. Dabei wird eine den erwünschten Verlauf der Tiefenätzrate entsprechende Ätzmaske eingesetzt. Als eine solche Ätzmaske kann zur Bildung eines kontinuierlichen Verlaufs der Tiefenätzrate diese keilförmig ausgebildet gewählt werden.