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发明名称 Verfahren und Gerät zur Prüfung von Substraten
摘要
申请公布号 DE69033130(D1) 申请公布日期 1999.07.08
申请号 DE19906033130 申请日期 1990.02.16
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 AMIR, ISRAEL, EWING, NEW JERSEY 08638, US;HIGGINS, FRANK P., EWING, NEW JERSEY 08628, US
分类号 H05K13/08;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 H05K13/08
代理机构 代理人
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