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发明名称 Halbleiterwaferkassette
摘要
申请公布号 DE69414277(T2) 申请公布日期 1999.07.08
申请号 DE19946014277T 申请日期 1994.01.28
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TERASHIMA, SEIICHI, USUI-GUN, GUNMA-KEN, JP
分类号 B65D85/00;B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
主权项
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