发明名称 使用涂敷热解氮化硼的石墨舟的金属电阻加热法
摘要 使用具有石墨体和热解氮化硼镀膜的石墨容器的电阻加热法,其中预定重量的金属装入料被存放在镀膜上面而容器则通过使用可变电功率源来加热以使金属装入料在小于两分钟的短时间间隔内充分蒸发,同时控制热循环以提供在施加功率的每一循环中的冷却阶段,同时根据以半连续方式完成的每一加热周期放进新的金属装入料。
申请公布号 CN1044010C 申请公布日期 1999.07.07
申请号 CN93107926.8 申请日期 1993.07.03
申请人 先进陶瓷公司 发明人 J·M·莫里斯
分类号 C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 吴增勇;叶恺东
主权项 1.一种使用涂敷热解氮化硼的石墨舟的金属电阻加热方法,该石墨舟装有石墨体,该石墨体具有在15mm2和72mm2之间的最大横截面积、203.2mm的最大长度和厚度在0.254mm和0.508mm之间的热解氮化硼镀膜,其特征在于,所述方法包括以下步骤:把从铝、铜、锌和锡组成的那类金属选出的具有在6毫克和200毫克之间的预定重量的金属装入料存放在所述石墨舟中,用氮化硼镀膜把石墨体和金属装入料分开;把具有恒定电流和4到25伏之间可变电压的电功率施加于所述石墨舟达一个受控短时间间隔之久,在该时间间隔内足以使金属装入料充分蒸发,使电流直接流过所述石墨体;改变施加于所述石墨舟的电功率以控制横过所述镀膜的加热循环,而所述电功率则重复地被中断以提供同时在每次施加输入功率之间基本上没有电流流通的最短的冷却周期,在所述冷却周期内把新的金属装入料放进所述石墨舟中。
地址 美国俄亥俄州