单片多层压电执行元件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种多层结构的、高宽比大于2的压电执行元件。该执行元件是由多个小型的叠置多层结构构成的。经过烧结制成一种具有改进的高机械强度的、压电性能优越的压电执行元件。

主权项

1．一种单片多层结构的压电执行元件的制造方法，其中：-在含有粘合剂的、厚度在20至200μm的压电陶瓷绿膜(5)的一侧压结由电极材料构成的层件(3)，-将压结的压电陶瓷绿膜按照交替顺序叠置成最大高度达3mm的叠层，在叠层中形成由压电陶瓷绿膜和电极材料上下交替叠置的顺序，-将第一叠层通过单轴层压形成第一多层件，-将多层件通过高温脱粘合剂，-将这种脱粘合剂的多层件(FT、MT、KT)叠置到总体高度在5mm以上的叠层，然后在单轴压力状态下烧结，从而形成一个达到理想单层层数的压电执行元件。