发明名称 Apparatus and method for multi-zone high-density inductively-coupled plasma generation
摘要
申请公布号 GB2332979(A) 申请公布日期 1999.07.07
申请号 GB19990000408 申请日期 1997.07.09
申请人 * CVC PRODUCTS, INC. 发明人 MEHRDAD M * MOSLEHI
分类号 H05H1/46;H01J9/20;H01J9/38;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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