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发明名称 ROTARY COATER
摘要
申请公布号 JPH11179264(A) 申请公布日期 1999.07.06
申请号 JP19970354331 申请日期 1997.12.24
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD;TATSUMO KK 发明人 YAMAGUCHI KAZUNOBU;KAWAGUCHI NAOMI;FUKUSHIMA HIDEHITO;UNO HIROSHI;FUJII HIROYASU;YAMAMOTO YUUKI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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