| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFER AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11179638(A) |
申请公布日期 |
1999.07.06 |
| 申请号 |
JP19970348175 |
申请日期 |
1997.12.17 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
KURITA HISATSUGU;SUZUKI NARIKAZU |
| 分类号 |
B24B7/04;B24B1/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B1/00 |
主分类号 |
B24B7/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
