| 发明名称 |
GAS INTRODUCING DEVICE INTO TREATING SPACE AND GAS EXHAUST SYSTEM FROM TREATING SPACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11181568(A) |
申请公布日期 |
1999.07.06 |
| 申请号 |
JP19970344390 |
申请日期 |
1997.11.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
SHINDO TOYOHIKO;IWASAKI TAKESHI;SHIRAISHI KOICHI;TAKAHASHI KENJI |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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