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发明名称
摘要
申请公布号 JP2915807(B2) 申请公布日期 1999.07.05
申请号 JP19940242831 申请日期 1994.10.06
申请人 APURAIDO MATERIARUZU INC 发明人 AANESUTO ERU CHEUN;PATEI FUIIIN TSUAI
分类号 C01G39/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C01G39/00
代理机构 代理人
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