,申请号JP19980053037-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP2914950(B2)	申请公布日期	1999.07.05
申请号	JP19980053037	申请日期	1998.03.05
申请人	ERU JII SEMIKON CO LTD	发明人	SON SEIKAN;KYO KISAI
分类号	H01L21/76;H01L21/265;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76	主分类号	H01L21/76
代理机构		代理人
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