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经营范围
发明名称 FILM FORMATION EQUIPMENT AND FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH11176821(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970337148 申请日期 1997.12.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATADA TOMIO
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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