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发明名称 EVALUATION METHOD FOR CRYSTAL DEFECT
摘要
申请公布号 JPH11173988(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970346054 申请日期 1997.12.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SUGIHARA KOHEI
分类号 G01N23/20;G01N21/64;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/64 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
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