| 发明名称 |
EXPIRED GAS ANALYZING DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11174051(A) |
申请公布日期 |
1999.07.02 |
| 申请号 |
JP19970343519 |
申请日期 |
1997.12.15 |
| 申请人 |
HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
NAKANO KAZUO;TAJIMA TAKESHI;HASUMI KEIJI |
| 分类号 |
G01N27/62;G01N1/00;G01N1/02;G01N1/22;G01N30/00;G01N33/497;(IPC1-7):G01N33/497 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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