发明名称 |
ECCENTRICITY MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11173812(A) |
申请公布日期 |
1999.07.02 |
申请号 |
JP19970361954 |
申请日期 |
1997.12.10 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NAKAUCHI AKIHIRO;MURAKAMI EIICHI;OTSUKA MASARU |
分类号 |
G01B11/00;G01M11/00;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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