发明名称 SUBSTRATE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11176982(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970344760 申请日期 1997.12.15
申请人 APIC YAMADA CORP 发明人 MORIMURA MASAHIRO
分类号 H01L23/28;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人
主权项
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