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经营范围
发明名称
METHOD AND EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11176791(A)
申请公布日期
1999.07.02
申请号
JP19970336830
申请日期
1997.12.08
申请人
SONY CORP
发明人
IWAMOTO ISATO
分类号
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/306;H01L21/321
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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