| 发明名称 |
ELECTRONIC-DEVICE CHECK SYSTEM AND MANUFACTURE OF ELECTRONIC DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11176892(A) |
申请公布日期 |
1999.07.02 |
| 申请号 |
JP19970342498 |
申请日期 |
1997.12.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HORISAKI SHUICHI;ISHIKAWA SEIJI;NAKAZATO JUN;MIYAZAKI ISAO |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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