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发明名称 ION IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11176372(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970362084 申请日期 1997.12.11
申请人 ULVAC CORP 发明人 AGAWA YOSHIAKI;HARA YASUHIRO;TERASAWA HISAHIRO;SEKI SEIJI
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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