发明名称 ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11176742(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970362742 申请日期 1997.12.12
申请人 NIKON CORP 发明人 TANITSU OSAMU
分类号 G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
主权项
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