发明名称 SURFACE SHAPE DETECTION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH11175793(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970346810 申请日期 1997.12.16
申请人 SANKYO SEIKI MFG CO LTD 发明人 ARIGA EIKICHI;YOKOZAWA MITSUO
分类号 G07D5/02;G07D5/08;(IPC1-7):G07D5/02 主分类号 G07D5/02
代理机构 代理人
主权项
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