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发明名称 THIN-FILM LAYER PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11176722(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19980260108 申请日期 1998.09.14
申请人 DAEWOO ELECTRON CO LTD 发明人 ROH JAE-WOO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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